GWI-Glass Wafer Inspection

 

GWI Sistemi ön üretim döngüsü  glass wafer denetimi, wafer kusurlarını tespit etmek için tasarlanmıştır. Sistem hata tespitinde gerekli hassasiyeti karşılamak için yüksek çözünürlüklü akıllı kamera dayanmaktadır. Wafer denetlemesi akıllı kameralar tarafından yapılmaktadır. Wafer görüntüsü kameraya doğrudan aktarılır. Sonuç verisi ve görüntü PLC’ye transfer edilir. Aynı zamanda mevcut bulunan bir opsiyon görüntü bağlantısının kurulması kamerada sonuçların görünmesi içindir. Değerlendirme prosesini gerçekleştirmek, Ethernet çalıştırmak için, RS232 ve Güç I / O bağlantısı mevcuttur. Güç I / O da RS232 arabirimi içerir. GWI Sistemi, çizik, parçacıklar ve alt tabaka hataları gibi wafer yüzey hatalarını tespit eder.

GWI Sistem Kurulumu

Kurulum: Alüminyum (siyah)

Aydınlatma: alttan LED aydınlatma

Kamera Donanım

İŞLEMCİ

Çekirdek: ARM Cortex-A8 1 GHz (OMAP3730)

Önbellek: L1_ 32KB D + 32KB I, L2: 256 KB

SIMD NEON, 8 x 8 bit, VFPv3

800 MHz DSP TI DSP C64X

________________________________________

Bellek

DDR RAM 512 MB

FLASH 2x microSD 1x int., 1x ext.

________________________________________

I / O Arayüz

PLC 2 in / 4-Out isteğe bağlı 4 in  / 8-Out

sonst. VGA Monitör, RS232, USB 2.0

________________________________________

Sensör Tipi

Mevcut CMOS ve CCD sensörler

Yazılım

GUI ile Linux İşletim Sistemi

  • EyeVision RT 2.6Rxxx (Sürükle ve bırak)
  • EyeWeb Webserver
  • EyeControl (Uzaktan kumanda)
  • eyeview ve EyeMultiView (en fazla 16 kamera ekran)

ÖRNEKLER

Kötü Wafer Denetimi

Eye Vision Yazılımı ile parçacıklar ve çiziklerin denetimi